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    非常精细表面粗糙度测量用光学显微镜的类型




    来源:yiyi
    时间:2015-4-1 13:02:57

    非常精细表面粗糙度测量用光学显微镜的类型           
                  
        当使用光学方法时,局部散射和总体反射的区别也需考虑,
    而任何非传统的粗糙度测量方法应该以参数给出测量结果,该参
    数要符合公认的ISO 粗糙度术语,一个光学和数字方法的联合装
    置已被研制出来,用非接触的光学数字方法给出的结果是令人满
    意的、全面的,而且符合ISO 术语,因而非常精细表面粗糙度的
    实际比对成为可能。
                  
        在实际的干涉显微镜内,有关被研究表面的干涉图样的很多
    复杂信息没被利用。如果被研究表面的结构沿其表面接近于常数,
    那么,其干涉条纹通常可以被理解为是高度曲线。
        改进这种目视检查窄小条纹的方法,通常是寻求:(a ),
    使用具有陡的密度曲线的照相材料,(b ),使用多光束干涉法,
    或者(c )。借助于一种为等密度法的照相技术,在各种情况下,
    较高精度所换来的只是在表面的主要部位的较少的信息。
                  
        这些缺点与不能使用干涉图样的全部信息紧密相关,从而导
    致我们进行了下面介绍的初步实验,在这个实验里,然而这一点
    却避免了去确定密度曲线的必要性,因为被利用的仅仅是一个灰
    色值。通常,当表面上的粗糙度参数的散布是相当大时,这种方
    法的分辨率大约在1%左右已足够,空间分辨率被显微镜物镜的孔
    径所限制,约为1 μm ,这两者都受到照片象的粒度的不利影响,
    但在这里这种影响是微不足道的。
                  

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