高精抛光或镜面精加工样品工业用表面粗糙度仪
高精抛光或镜面精加工表面,在用触针式(接触式)测量仪器测量其粗糙度时,所遇到的问题恰恰是在高的灵敏度方面。表面的轮廓图形被触针的抖动、振动以及外界的影响(如仪器的噪声)所歪曲。仪器的较小读数也是一个对测量的限制因素,当所测表面的粗糙度值接近仪器较小数值时,基准表面特性的影响变成主要因素,工业用仪器所提供的信息大多数是测量表面微不平度的高度,对于镜面精加工表面,这种测量不能充分实现对其粗糙度进行实现的和恰如其分的评定。 然而,当测量很精细表面时,用一个精细的触针和较高的数据采样率,触针式仪器的限制可能减到较小,并可能获得较好的结果。但是,触针尖端接触压力强度的提高会导致表面的损伤,采样点的过密会造成数据的相关联的过,光学方法(非接触型) 不能单独的给出这种表面完整的粗糙度的评定,它们多数是测量表面的反射率、划痕和沟槽的深度,而并非是表面的纹理结构。
(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)