应用于表面粗糙度测量较广泛的仪器-粗糙度仪 表面粗糙度测量中用得较广泛的仪器是针描式仪器,该仪器用很尖的触针在表面上划动并用机械或电器放大其垂直的位移。通常,所考虑的横截面是垂直于统考纹理方向的,同时对横截面的轮廓经过手工或电学处理后得到代表表面粗糙度的值。 在考虑表面的三维特性时评定粗糙度的较简单的方法或者光学放大镜或者光学显微镜再用肉眼观测。电子显微镜能用较高的分辨率检测表面。 曾作过用表面的反射光来评定表面粗糙度的尝试,另一些方法是用参考表面与被测表面作比较,在干涉仪中,利用光学平板作参考表面能得到表面的干涉图象,气动法是利用参考平板喷嘴和表面间气流泄漏所产生和反压来评定表面粗糙度。利用参考平板与表面间的电容也能度量表面的粗糙度。 在表面粗糙度测量领域里还有许多能得到不同参数的技术,它们的用途还某些争论。然而,能被大家所理解的是需要寻找一种快速和有效的表面粗糙度测量方法。
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