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电镀表面轮廓估算整个形貌粗糙度,计量显微镜




来源:yiyi
时间:2015-4-6 14:27:01

电镀表面显微轮廓估算整个形貌粗糙度,计量显微镜
          
              
    工件在使用过程中,其使用性能取决于整个粗糙表面而不是
某个截面轮廓,所以完整三维粗糙度的参数无疑是较有意义的,
于是,由于受到仪器的限制,这类参数没法用直接模拟的手段测
得,要获得三维粗糙度参数的“理想方法”是不现实的(“理想
方法”这个词的含义是指:与任何实用仪器没有联系的用几何学
精确程序来估算的参数)。
              
    为获得确定表面粗糙度参数的现实方法,必需将表面的粗糙
度信息的坐标数目限制到较低限度,广泛使用的方法是用一个垂
直于基面平面剖切粗糙表面,这就产生了正交表面轮廓,用轮廓
估算整个形貌的粗糙度的方法称作轮廓法,所以表征表面粗糙度
轮廓的参数具有重大实用意义,通过这些参数可获得完整的表面
形貌。
              
              
    电镀的显微形貌以及原始基体的物理和化学性质可以用各种
各样的参数来确定。本文评论了用于定量测量基体和电镀表面显
微形貌的现代仪器,涉及到与被测表面轮廓有关的一些统计参数,
使表面轮廓的可能采用高度分布,沿表面方向的周期性等简明的
几何特征来定义。
        

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