使用光源的波长不同显微镜的分辨率也会不同
对光学系统的要求由于大多数光学玻璃、透明塑料和
常用的胶吸收大量的紫外光，所以须使用特制的紫外光物
镜，与其配用的浸液也必须能透过紫外光，如无水甘油等。
紫外显微镜不能用肉眼观察，必须通过显微摄影或其
它的方法记录其像，目前也使用一种像转换器，它可以把
紫外光像转换为可见光像。
红外显微镜红外显微镜是为红外显微术专门设计或附
加配备装置的显微镜，它可用来检查某些对可见光不透明
的物体，在半导体材料的检测中应用较广，许多半导体材
料能通过能量小于它的禁带宽度所对应的波长的光线（如
硅可以通过波长大于1120nm的红外光），因掺杂、金属化
或因内部缺陷而使得半导体材料中自由载流子浓度增加时，
材料对光的吸收也增加，当用红外光照射半导体标本时，
各区域透光的强弱反映出标本构造的细节，电视监视器就
显示出图像，由此可迅速、准确、无损检测出材料的不均
匀性，不规则的扩张、外来杂质、晶体内的缺陷、蒸铝岸
上线缺陷，MOS 器件沟道长度等。
红外显微镜所顾的像不能用肉眼观察用电视显示或特
殊胶片记录，也可在光路中使用像转换器，以便通过目镜
观察。
红外显微镜使用的波长较可见光长，故分辨率比可见
光显微镜低。
