光学显微镜在测量中的应用-多功能光学元件厂商
研究显微变形的光干涉测量法
光干涉测量法通常分为点的和立体的(全息照相)两种。
用第一种方法可以进行一个点上的探测;而用第二种方法,
则无论被研究物体有多么复杂,都可以同时观察物体整个被研究
的表面或整个物体。
在点干涉测量法中,利用两来精确叠加的光路,
因为这里的
干涉图象出现,只是在对同时存在的两条光程图象进行比较而来
的。各种点干涉测量法实际上都是利用迈克尔逊干涉仪或其变形
产品的原理力基础,其结果是两束相干的平面光波的叠加而产生
干涉,所以各种光学元件都应当是高质量的。
被研究的物体表面的本身在某种程度上也是干涉仪系统中的光学
元件,所以这个表面应当是光学平面,而且要抛光成镜面。
这里,探讨一下全息照像的物理顷理和它与普通照像的区别。普
通照像一般在白色光(非单色光和非相干光)下,光学(透镜)系统
将三维物体拍摄在照像底版平面上。这样,物体的像就失去了立
体性质,不能从像片各个方向观察物体,所以在像片上没有位移
视差效应。
只能拍摄物体一定部位的像。所以,在一张底片上无法拍摄几个
物体的像,因为一个像要干扰另一个像。像的照度决定于在单位
时间内照射在底版每个部位单位面积上光的能量。此时不考虑物
体反射的光波相位,因为它们是分布在像的平面上的。
近来,
所谓全息照像的方法得到了成功地发展。这种方法所
得到的光学图象与普通照像有原则亡的区别。全息照像法是一种
原理上全新的方法,可获得物体的立体成像。这种方法的基础是
:空间相干的单色光波, 当相交时,在相互平行的方向上偏振
而产生干涉。
全息照像的过程,总的说来,就是把照射在物体所有点上的散射
出来的光波和参考(直射)光波叠加在一起。
由于相干光波叠
加的结果形成了干涉图象,这种图象一般记
录在照像底版或感光软片上,假如照射在底板上只有三维物体所
散射的光,那么,这种光对底板的照射是均匀的。
我们得不到由物体各点散射的光程差所决定的对照度的信息。如
果带给物体的另一种信息模拟为参考光波,它起着直射频率的作
用,则这种模拟所反映的不仅是振幅的变化,而且还反映相位的
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