不同类型的显微技术微电子产品检验的光学显微镜

    显微技术几种类型的显微技术及其在微电子产品污染
检验方面的应用。显微技术在了解器件结构及污染的内在
关系方面已成为一种强有力的检验技术。它可以在微米级
范围内观察器件表面存在的物体、各种显微仪器可归并为
两类：一类是在整个焦平面内同时显像；另一类则是用被
聚焦的点在指定区域内运动而产生图像，光学显微镜和透
射式电子显微镜都属于同时显象一类，这里将首先加以讨
论。

    光学显微镜照明光学

    光学显微镜是一种能迅速全面地观察缺陷和杂质粒子
的工具。用这种显微镜观察杂质粒子，往往直接就识别了，
并可找出粒子和缺陷间的关系及其产生的原因和效应。反
射式和透射式照明系统在光学显微镜中都能使用

    光学显微镜具有一连串的透镜：聚光镜、物镜和目镜。

    在反射式照明系统中，物镜还兼有聚光镜的作用。不
论是反射光，还是透射光都有几种照明形式：即亮视场、
暗视场、偏振光、相位反差以及干涉反差等。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)