电子视频式显微镜精巧而效率应用到微观分析测量
作为微电子技术环境控制的显微手段，其测试仪器有从较简
单的台式显微镜到当前使用的精巧而效率很高的各种仪器，而且
把放大和微观分析都结合在一起了。
关于分析和检验仪器的讨论来看，显微法是观察人员从各种线索
中得到信息的唯一方法。观察人员可采旧很多方法进行处理以获
得所需信息；也可从较初的观察中，看出各种情况和数据的相互
关系，从而决定采用哪一种有效方法。 显微镜和其它方法联合
使用，在检验工作中往往是处在第一线的。
由于引入了自动扫描系统和计算机的数据处理技术，定量显
微分析近年来日益重要。 在测量粒子大小的分布，样品的其它
特性中更是如此。
显微技术的进一步发展促使光学显微镜的数据自动处理，电
子束显微镜分辨率和分析灵敏度方面得到更大的改进、在这新的
领域中，当前首先要做的工作是将检验技术推进到更先进的水平
，使之能对微电子器件中很小的斑点进行观察，并获得更高的分
析灵敏度。
焦质谱仪进行检测和识别
质量分析
从试样选出的离子按质荷比用双聚焦质谱仪分类。质谱是由
质量范围和控制信号强度进行扫描而绘出的。
纵深剖面图
一方面用检测器监视某一同位素，另一方面腐蚀试样，从而获
得某一元素浓度的纵深剖面图，该图是以检测器检出作为腐蚀深
度的函数(同时也是时间函数)而绘出的。
在离子质谱仪的制造中有两种不同的设计方案：一种方案是
离子同时轰击试样大面积上的所有点，然后采用一定的方法分析
