表面粗糙度的测量仪器中,触针测量应用得较多
表面粗糙度的测量
在一般表面粗糙度测量中，触针法应用较多，由于用针尖
半径非常小韵触针接触加工巾的工件表面，所以很难获得高
精度测量。目前，在加工中测量工件表面粗糙度；还没有较
有效的测量方法。当工件材质与加工方法一定时，也可以用
从工件表面反射来的反射光进行测量。
在表面粗糙度的光学测量中，除反射光分布法外，还有光
波干涉法和光切法。光波干涉法是以光波波长为测量基准，这
种方法灵敏度嵩狙如果表面不是经研磨的光洁表面时，很难
用这种方法测量。特别是由于在加工中工件韵振动，大大地
妨碍了这种方法的应用。光切法是利用前面讲的激光光点或
激光射线对工件扫描，测出表面粗糙度。
很早以前就研究了加工表面的粗糙度与工件表面漫反射
光的关系。因为这种测量方法是非接触测量，测量方法简单易行
但是，漫反射光分布测量法是测量表面的平均反射光，如
果认为表面粗糖度是统计值，利用这种方法是可以的，但是要
了解粗糙度曲线的全面形状，此种方法就有其不足之处
加工表面漫反射光的分布，不但受表面凹凸高度的影响，
也受凹凸形状、表面纹理微细裂纹等影响。由于加工零件材质
不同，反射光的波长和强度也发生变化：因此利用漫反射光
分布测量表面粗糙度时，一般需事先确定加工材料和加工方
法。
光点位移测量法与前面所叙述的激光光点测量法相似。
光点测量位置是在光轴方向上测出工件表面反射来的反射象
点的位置。用光点测量表面粗糙度时，是在垂直于光轴的直
线上(在荧光屏上)测量表面粗糙度形成的反射象点的位置。
为了成象，必须机械地扫描被测表面，因此也可将这种装置看
作是一种扫描型的激光光电显微镜。
