机器零件微量切削表面的微观几何形状计量显微镜

  零件表面微观不平度的形状和尺寸与加工的运动方式和加工方法
，材料的机械性能和机床-夹具-刀具-工件系统的振动有关，亚微
观粗糙度在很大程度上是由被加工材料的组织及其应力状态决定的
，波度主要是在加工过程中产生强迫振动而形成，宏观误差则是机
床和刀具的制造误差以及受切削力变化影响而产生弹性变形所引起
的结果。

  在机器零件的摩擦和磨损过程中，表面的微观几何形状会发生显
著的变化，此时变化较大的是相匹配表面中较软的表面，在磨合过
程中，该表面的粗糙度向接近于硬表面粗糙度的方面变化，直到获
得该摩擦条件特性的某一较佳值时为止，摩擦表面上的粗糙度是由
于塑性挤压、疲劳损伤和某些情况下的微量切削以及深处的撕裂而
形成的。

  在貌指的是表征表面微观几何形状的特性，而不是指其个别面上
的特性，同时，通过对表面轮廓的研究，就可以对表面的构形做出
一系列的判断结论。

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