精细加工表面触针针尖半径对测量粗糙度参数的误差　　　　　　　　　　　

    在测量粗糙度参数时，较困难的是测量微不平高度小于0.1
μm 的精细加工表面，工业上使用的干涉显微镜，由于其分辨
能力不够，不能测量这样表面的粗糙度，而按高倍垂直放大率
的轮廓图来确定粗糙度参数伴有相当大的系统误差。
    较重要的系统误差之一是触针针尖半径引起的误差，如果
在测量微不平高度大于0.1 μm 时可以忽略它，但是在记录精
细加工表面的轮廓图时甚至当针尖半径不超过2-4 μm 的情况
下，这个误差与微不平高度本身比较起来已显得相当大，必须
对它进行修正。
    触针针尖半径对测量粗糙度参数的误差的影响与下面的情
况有关，当针尖沿着微不平度滑动时，针尖圆弧中心的轨迹与
微不平度的形状不一致，这就导致在轮廓图上轮廓高度改变，
测量精细加工表面的粗糙度基本上利用参数，对具有代表性的
精细加工表面块规表面轮廓的分析表明，按其确定的每一个单
个微不平度起伏都可看作是峰顶角划谷底角约为170 度的三角
形轮廓。

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