表面粗糙度测量基本工具机械测量粗糙度轮廓仪
表面的微不平度是极其小的对象,为了确定它的大小要求有足够的分辨率,传统的线值测量工具对此是无能为力的。
由此看来,粗糙表面的微不平度的特点和粗糙度参数的物理含义不允许实现把测量单位从这一领域的一次基准器直接传递到标准器进而传递到工作测量工具而无显著的精度损失,这也就决定了有必要研制专门基准器。
一等单色标准光源——根据兰姆凹陷理论稳频的气体激光器; 干涉显微标准器装置,它由干涉显微镜、物镜瞄准装置和附加的线位移测量工具组成粗糙度标准样板。
表面粗糙度样板是保证表面粗糙度领域测量统一的基本工具,它与标准仪器一起组成检定系统的基础,样板工作区域内的表面轮廓不应该简单地模仿实际表面的微不平度,这方面的研究工作确定了对工作区域轮廓特性的基本要求,这些要求应该保证高精度地检定高度参数,另一方面,应该使轮廓的形状能够用来确定对实际的各种类型表面进行测量的允许总误差且使其有好的工艺性,即在可能接受的制造成本下用已有的制造方法制造出必需数量的样板,在制造粗糙度样板时,还应该考虑到对表面层的物理机械和化学性能提出的要求。
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