测量的自动化显微镜的微图形图像识别测量仪器
对微小缺陷进行检查的目的在于发现产品表面的伤痕、异物
和形状畸变等，以及那种具有潜在的缺陷，使得虽然现在尚能正
常工作，但可能以后会变坏甚至造成故障的产品．
在利用显微镜的微图形测量中，首先是适应于图
形的微细化发展，满足更严格要求的透镜系统的研制取得了进
展．与此同时，测量的自动化也在进行，其目的不单是为了省力和
自动操作，而且起着提高精度和可靠性的作用，使以前被认为是
不可能进行的测量工作成为可能．
今后，期望处理由这些光学系统得到的图像信息的软件系统
的研制工作能根据各方面的要求取得进展．
微图形的缺陷检查和定位操作的现状仍然是依赖于显微镜下
的目视操作．可是按目前的情况，生产线的速度在不断提高，图
案也更趋细微化，这就需要进行超出人的目视能力所及的操作．
其结果是不断发生缺陷的漏检，同时定位精度也降低下来．因此
迫切要求在生产线上采用高速和精密动作的自动化装置．但是由
于人的图像识别能力非常高明，即使采用现在高度发展的计算
机技术，要想把人的运算能力赋予机器还是很困难的．本节中所
介绍的几种自动化装置是用机器部分地代替人的图像识别能力的
专用装置．在机器只执行确定功能的工作时，它是极为准确而快速
的
