自动测量技术在显微分析仪的应用-自动计量显微镜原理
差示测量
测量类别：全部
用比较法的阻抗测量可以包括指零法、谐振法及复数伏安比
法，它们作为一种差示测量方法不再予以细分。所以单独讨论比
较法是因为它有独特的优点，而且使用广泛。比较器测量在必须
快速和精确地测量大量接近恒等的一些量时是较有价值的。
用作比较器的仪器可以是能够分辨标准和被测之间的小差值
的任何阻抗仪器，如一台电桥或阻抗表等。这就是说仪器应该灵
敏和稳定，但不意味着要求很高的绝对精度。通常可以发现一台
±5％量级的仪器与一个高质量的标准一起使用能实现±0．1％的
测量。由此比较器技术广泛使用于标准和校准实验室。
自动测量
现在人们已把大部分注意力转移到了所有测量方法的自动化上
。自动化仪器可以大大地缩短测量时间，还使大量数据的积累成为
可能，如果没有这种自动测量仪器，这种积累是不可能实现的。测
量数据也可以编成适合于快速处理的数字形式，因而对那些没有经
验的工作人员来说只要对他们稍加训练就可使用它们。在集总参数
测量中自动化已经以多种方式获得广泛的应用。
在较低的频率(大约10kHz或更低)已经制造出很多电桥，这些
电桥对电阻，电感和电容的测量是完全自动的。这些自动化电桥对
检验和质量控制是很有价值的，在质量控制中常在较低频率去监控
检验器件的性能，这些器件的性能或者与频率无关，或者可用一个
预定的修正因子去给出较高频率时的数值，只要在测量频率和使用
频率之间提供一个预定的差值就行，通常就不一定需要在准确的使
用频率上进行测量。
在中频(主要是100kHz和1MHz)自动电桥也是适用的，而且多数
是用来测量电容的，也可测量损耗因子或电导。这些电桥也可用在
元件分选或质量控制上以替代其他频率的测量。由于这些电桥和工
作在较低频率的电桥都是自动平衡的，所以操作者唯一要做的事是
联接好待测器件。平衡只要零点几秒就可完成，而且测得的值可以
以排成一行的数字形式或为了适合于计算机处理测量得到的数据而
通过一个数字设备显示出来。
在较高的频率(100MHz和更高的频率)自动测量系统体现为可以
实现很多种参数测量的网络分析仪的形式，它们通常是和计算机联
用的大系统。计算机除了处理数据外还控制一个预先编好的测量程
序。这样的系统可以工作到很低的频率。网络分析仪既能用在扫频
或步进频率的工作模式，也能用示波器显示测量结果。网络分析仪
在分析多端口器件，衰减器、滤波器和各种系统组件的输入输出响
应特性以及对其S参数、衰减和回波损耗等的测量方面是有广泛用
途的。
