表面的轮廓批量检测光学式计量工具显微镜
由于每个表面的微观不平度太小,难以用肉眼直接观测,
因此某些放大装置就成为必要的了.马上想到的是显微镜,
它能清楚地显示出水平方向的纹理。但我们较感兴
趣的是微观不平度,即峰和谷。由于这些峰和谷是垂直于水
平面的,因而显微镜不能显示出它们的高度.让我们用一种
假想的简单的仪器来代替显微镜.该仪器有一个杠杆,
一端有一支点,支点附近带有一个很尖的测头,该测头
能如实地描测出要探测的表面纹理。在杠杆另一端(很远),
能记下放大很多倍数(例如5000倍)的测头上下移动
距离。被测表面和记录纸用不变的速度作水平方向移动时,
则假想的仪器将把表面的轮廓记录下来.如果记录纸移动的
速度比被测表面移动速度快些,则各个微观不平度可分离开
来,达到能被人清楚地看见的程度,这样我们就能探测和比
较各种表面的轮廓了.当然应该记住,为了使之清晰,这
些微观特点的形状必须加以夸张地放大
例如批量检测时,就不方便,会使人疲劳,而且肯定很
费讨间。因此我们需要的是一个单一的数字,它将足够地指出
一些特性上的差别,而这些特性则是影响性能的重要因素。
所有的表面都有复杂的纹理,到目前为止还没能找到一种方
法,能把轮廓图形提供的全部信息归纳成一个单一的数字。
可是,我们可以分开来,每次定量一个特性。