螺丝游动测微计的金相显微镜-光切测量镀层厚度
测试方法和步骤
1．显微镜的隹备和调整
(1)采用目测镜检测微计或螺丝游动测微计的金相显微镜，
按仪器说明书要求进行安装。
(2)接通电源，开启开关，调整光源位置到较佳状态。
(8)按镀层估计厚度，选用适合倍率的目镜和物镜，并进行调
整焦距。调焦距时应先粗调后细调，直至视场中观察到的物象清
晰为止。
(4)将准备好的试样放于显微镜载物台上，并使镀层测厚部
位尽可能在视场中央，通过目镜测微计观察并测量其厚度．每次
测量值至少是三次读数的平均值。如需要测量平均厚度，则应在
镶嵌体试样中镀层剖面全部长度内测量五个点，然后取平均值。
轮廓仪法和光切法测厚
轮廓仪法测量镀层的厚度
轮廓仪法又称触针法，它是采用试样镀前屏蔽或镀后溶解的
方式，使基体某一部份除去镀层，在基体和镀层之间形成一个台
阶。通过轮廓仪的探针运动来测量台阶的高度而得到镀层的厚度
值。这种方法可以测量较宽范围的镀层厚度。可测范围从0．01--
1000μm的各种镀层，准确度为士10％以内。
．轮廓测厚仪有电子屏幕针式仪和表面轮廓记录仪两种。轮廓
记录仪的结构和使用方法．
光切法测量镀层的厚度
光切法又称干涉显微镜法。其试样的制作与轮廓仪测厚法相
同，即造成一个基体和镀层的台阶，利用多光束干涉显微镜对该台．
价高度测量，从而获得镀层的厚度值。该方法可以测量2μm以
下，具有较高反射率的各种镀层厚度。
光切法测量镀层的厚度，是通过干涉测量仪，一个贴于试样作
平面基准板的透镜．当一束单色光在上述试样上和透镜之间来回
反射时，可观察到在光学平面和试样表面之间产生的干涉带图象，
若将基准板相对于被测镀层表面稍微倾斜，则干涉带的图象以平
行的光亮带和暗带交替出现。当干涉带在基体与镀层的台阶处
时，干涉带的图象会产生相对位移，其位移量是试样表面与光学平
面位差的绝对量。所以，通过带测微目镜和干涉显微镜观察和测
量干涉带位移距离，即可测出镀层的厚度值。
干涉显微镜的使用方法，可参照仪器的使用说明书要求进
行。
