电镜分辨率较高和景深大约为光学显微镜10倍
作为现代显微分析仪器的主要手段．扫描电镜可以以较高的分辨率
(0.4～3nm)和大的景深(约为光学显微镜的10倍)清楚地显示材料
的表面和断面信息、提供材料的优劣原因等，广泛应用于诸多领域
．并日益受到人们的重视。
扫描电镜特点
扫描电镜 具有操作简便且得到的显微结构信息直观的特
点．成为目前材料微区显微结构观察和成分分析较常见的工具。
扫描电镜的主要特点如下：
(1)图像分辨率高、放大倍率大。目前扫描电镜的分辨率为
3～O．4 nm．相对应较大有效放大倍率可达10万～150万。
(2)景深大。一般情况下．扫描电镜的景深是透射电镜的10
倍，是光学显微镜的100倍，特别适合观察一些粗糙不平的断门。
(3)无损分析。对大部分材料，只要尺寸能够放人样品室的话，
就可采用合适的条件。无须对试样进行任何处理，直接进行观察
分析。
(4)试样制备简单。试样可以是自然表面、断口、块体、反光
扫描电镜的发展简史
扫描电镜的基本原理由Knoll于20世纪30年代提出。随后Arden
ne于1938年通过理论计算和实验对磁透镜系统进行了改进，从而能
够缩小电子束斑直径以得到更高的分辨率。Ardenne的实验装置实
际上是扫描透射电镜(scaming transmission electronmicroscopy
．STEM)，既允许电子穿透薄样品直接在胶卷上成像．同时也可以
通过收集二次电子与背散射电子信号通过阴极射线管成像。
