可用于电镜测定使化学分析和颗粒大小和表面特征
可以用于电镜测定使化学分析和颗粒大小分
析可同时进行。扫描电子显微镜(SEM)
扫描电子显微镜是一细束具有中等能量(5—50kev)的电子在一系列
轨迹上扫描试样。这些电子与试样相互作用产生二次电子放射(SEE)，
反射电子光(BSE)或阴极射线致发光和X射线等信号。这些信号中的每
一种都可被检测出来，并如电视图象一样在阴极射线管的屏幕上显示出
来。一般都用屏幕的照象记录进行观察。与TEM比较，SEM要快得多，而
且得到更多的三维空间细节
为测定表面特征和颗粒的厚度，常将一重金属膜倾斜地沉积在标本
上或其复制光栅样上。为了使接近于平行的光束可以达到标本上，可利
用低能源高真空将金属沉积下来。
化学分析
当颗粒被电子轰击后其辐射取决于化学成分。 用单色或多色辐射
或电子束来进行研究。这是一种一个电子从内层轨道发射出的二次电子
过程，留下的空位被落入空位层的电子所填充，这就为放射另一个电子
提供了能量。Auger电子的能量是分子所具有的特征。用真空紫外技术
对金属表面进行了很多研究，从得到的能量分布曲线(EDCs)给出各种金
属谱段的资料。软X射线的应用就是化学分析的电子光谱法(ESCA)。X—
射线除能从价电轨道上放射电子外，还能有足够能量从某些内层轨道放
射出电子。这是属于由原子性质而产生的能谱，是有关原子的特征而不
是一部分由该原子所组成的分子的特征
