零件加工精密制造表面质量检测光切显微镜
随着精密、超精密制造技术的发展，对零件表面加工质量的要求越
来越高，在追求和探索各种超精密表面加工新工艺、新方法的同时
，对表面质量的检测理论、检测方法与检测仪器提出了更高的要求
。表面质量检测理论必须适应各种纳米表面加工工艺研究的新要求
，表面质量检测评价方法必须科学合理以适应各类超精密零件的制
造水平和使用特性，检测仪器的检测精度必须高于零件加工制造的
精度水平才能有效指导加工工艺。目前传统的机械触针接触式、光
学干涉非接触方式的表面质量的检测理论与方法已经不能完全适应
纳米级表面质量检测的新要求。原子力显微镜发明之后的二十多年
里，其在精密工程领域得到了大量应用，成为纳米量级机械加工表
面质量与表面形貌检测的重要仪器。一方面，原子力显微镜很好地
实现了纳米量级机械加工表面质量的高精度检测，丰富了三维纳米
表面形貌的测量理论，更精确地实现了超精密加工表面形貌的仿真
和预报；另一方面，由于其表面测量的主要工作原理宏观上与传统
的机械触针式测量方法极其相似，因此在目前测量纳米级表面形貌
时沿用了传统的测量理论体系。事实上，对于基于原子力显微镜的
纳米表面测量，既需要完善测量理论体系，弥补测量方法和仪器表
征方面的不足，又需要对原子力显微镜测量纳米表面的测量机制和
评价表征方法进行新的探索。
