结构的精确测量-微观几何特征高分辨率显微镜

微观几何特征，

　　在微米和亚微米范围内对结构的精确测量变得越来越重要。因为
无限的小型化，对于产品的分辨率和微电子与微观结构的度量是很重
要的，对于微粒尺寸分布的测量也很重要，例如，在环境保护中的应
用。大量的测量方法适用于完成这些任务，它由传统光学显微镜范围
延伸到紫外线范围。通过电子显微镜到高分辨率近场显微镜方式，例
如，原子力显微镜。

　　光学显微镜包括普通的明暗场显微镜，共焦显微镜，在可见光谱
和紫外线范围内的干涉显微镜。作为非微观的附加特征，物体的远场
衍射成像能被估算出。对于照射在物体上的放射光线的互相影响的基
本研究和理论模型，都是对这些方法的额外的帮助。非光学的高分辨
率显微镜测量方法[扫描电子显微镜(SME)，原子力显微镜(AFM)等]普
遍应用于检查和评估微观几何构造。这些是光学显微镜方法所不能解
决的，作为对光学测量方法的补充。在对用于物体结构的扫描探针和
显微镜系统特定扩张之间的互相作用做进一步研究之后．例如，附加
精密长度测量系统，高分辨率显微镜方法也用于校正。目前为止，这
种方法还不太可能，因为光学方法原理在能够实现的分辨率方面还受
限制。

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