光学3D测量宽区域取样磨损特征-粗糙表面光学计量仪

光学测量方式

　　光学3D测量方式允许快速获得宽区域取样点。通过一些不同视点
的测量，用所需的分辨率，就可能测量到所有的磨损区域和用于决定
工件外形以及工件表面特征的区域。所测量数据被转换成普通坐标系
统之后，通过取样点的3D设置，这个样品能被描绘出来。通过取样数
据，确定了外形、表面，以及磨损特征。这种方法的好处是，测量过
程自动化程度很高，并且不受操作者影响的约束。而且还具有高的测
量速度，被测量物体表面作为一个整体被获得。尤其适合于获得微观
几何构造的测量值，其操作原理是白光干涉仪或分散光方法。

白光干涉仪测量方法

　　特殊的白光干涉测量方法允许在光学粗糙表面获得宽区域的形态
。被称为相干雷达的测量系统，基于迈克逊干涉仪原理，其测量光束
中的镜面被测量物体所代替。用发光二极管作为光源，引起了显示典
型调制的白光干涉，其为测量光束与参考光束之间相移的函数，当没
有相位漂移存在时，为较大值，例如，测量物体在参考表面时。

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