扫描热显微镜测量空间分辨率依赖于样品的特征

(1)温度分辨率

　　  探测器探测的温度被校准后，其典型温度分辨率是0．2℃温
度校准是探测器的依据。探测器的温度分辨率受传感器电子噪声限
制。
(2)空间分辨率

　　    扫描热显微镜测量的空间分辨率依赖于样品的特征。较好
的观察分辨率是在半高宽(FWHM)150～200nm，作为磁数据储存和读
取元件的电子交叉磁阻条纹的测量。应注意三个主要因素影响了温
度梯度成像的空间分辨率；由于样品原材料相对于热源有热绝缘的
背景特征，热会在样品表面传播；热源空间的延伸；探针与所描绘
的相关表面的实际热源的距离。
　　    具有较好的表面上的热空间分辨率的样品(因此，有较大
的热梯度)，有小的热源在热绝缘底层，该热源非常接近所描绘表
面。理想的样品也能提供在线圈与探针传感器之间合适的电绝缘。

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