显微机械加工于测量的工具-测量光学仪器

加工精度的评估

　　    在显微机械加工中，对加工性能进行评估有时很困难，尤
其在加工精度方面。钻小孔是显微机械加工中的较简单的典型例子
。然而，如果物体上孔的直径小于0．5mm，深度大于lmm，那么测
量仪器制造商就不能提供合适的尺寸测量方法。
　　
　　    由于较近的应用经常需要孔的直径为100／μm或50μm，
对于测量内部尺寸技术的发展，例如，测量孔的尺寸，在生产技术
中是迫切的需要。然而，对于小尺寸物体的测量，物体固定的误差
常常强烈地影响测量结果。
　　    这些导致了在加工中对测量的需要(OMM)。OMM是指其测量
的执行不需要从加工小孔的机床上从夹紧位置移动物体。在OMM中
，从加工到测量的完成没有较大的误差产生。

　　    另一方面，用于测量的工具必须安装在机床上，因为在0M
M中，加工系统和测量系统之间坐标的应用是基本的。因为在机床
和测量装置之间的部件需要较宽的设计间隙，所以这种类型的安装
通常较困难。
　　    较近开发的测量技术称为振动扫描(VS)方式。在某些应用
方面能够提供这个问题的解决办法。

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