测量机械相位检测显微镜技术-外形图像分析

相位检测显微镜

　　    相位检测显微镜(PDM)也指相位图像术，是用于测量机械
的和化学的表面性质，例如，弹性、黏性、摩擦力或黏弹性的一种
技术。当仪器在任何振动悬臂模式中操作时，可产生相位感测成像
，例如，非接触式原子力显微镜、间断接触式原子力显微镜或磁力
显微镜模式。应用力调制显微镜(FMM)可采集相位检测信息。相位
检测指的是对驱动悬臂振动的信号与悬臂振动输出信号之间的相位
延迟的监视。相位延迟的变化反映了样品表面机械特性的变化。

　　    常见的系统反馈回路的操作方式是，利用悬臂偏转或振动
的变化来测量样品的外形。当外形图像成像时，监测相位延迟，以
至外形图像和原材料特性可同时被采集。相位检测的一个应用是可
获得样品材料特性的信息，这些样品的外形测量用间断接触式原子
力显微镜比用接触式原子力显微镜效果更好。
　　对于这些样品，相位检测对于用接触式原子力显微镜测量外形
的力调制显微镜是
　　  一个有用的选择。相位检测显微镜对外形图像提供了补充信
息，以鲜明的高度对比表面成像形
　　  式上，显示了黏性标注表面属性的变化。此技术提供了0．1
度相位检测的分辨率。

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