机械元件涂层加工检测多功能图像显微镜制造厂商
涂层过程监测
提高材料表面性能，较有效且适用的方法是应用涂层。原因在于，要满足材
料表面具有整体理想性能且均匀的要求是非常困难和昂贵的，例如材料的高硬
度、耐磨损、足够的刚性、增强的延展性、化学稳定性、不锈性、可控制的电和
热的传导性能等。前面所述的一些性能中有一些彼此是相互矛盾的，同时具备这
些好性能是不可能的。表面涂层目前提供了一个满意可靠的，且经济的方
法来解决这些问题。有几种方法可用于淀积表面薄膜，它们基于各种物理、化学
和热学过程及其变形，也应考虑到底层材料的规格和被涂层元件或刀具的用途。
在不同的应用领域，涂层方法很快在材料技术方面赢得了重要地位。量化这
个事实，在20世纪90年代末期，涂层工具约占市场的95％。另一方面，涂
层在电子和工程方面也扮演了重要的角色。传统的机械元件，例如轴承、齿轮
等，是目前涂层工业研究和开发的主要领域。无疑，涂层的应用结果有很大好
处，导致了灵活而复杂的淀积过程的发展。目前可提供单层和多层、结构或组成
不同的薄膜，带有很好的机械、物理和化学特性，但也增加了相应的涂层淀积装
置的复杂性。
涂层过程是特殊的多参数函数，因此它的良好的过程和完成需要严格且灵活
的监测和控制系统。基至较简单的淀积方法，包括两个以上的参数，也必须
跟踪整个过程，目的是达到所需的涂层性能。更进一步讲，如下所述，涂层装置
的设置及其控制的应用有很宽的变化范围，考虑到较佳的淀积过程是合适的影响
参数选择的结果，淀积监测必须包含在其中。
