微观几何量中CCD的应用-磨削加工检测显微镜
微观几何量中的传感器
除了用于宏观几何特性的传感器外，其他传感器能够给出
微观几何量的信息。带有导电金属粒子的砂轮填充物，作为一个特
殊类型的微观几何磨损，通过应用基于感应现象的传感器能够被检
测出来。传感器由一个高导磁芯和线圈组成，它被安装在距离表面
很近的距离处。金属粒子在阻抗上产生变化，其能够被进一步地处
理以用于检测砂轮填充物的状态。传统的记录磁头也可用于检测砂
轮表层铁粒子的存在及相对尺寸。只有这种特殊类型的磨损在金属
材料的磨削过程中用这种传感器可被检测出，这种传感器还没有实
现实际的应用。
目前所有介绍的技术涉及到的限制，把注意力转到光学方
法中。因为它们的频率范围和表面材料的独立性，这些方法看起来
很有希望。通过应用电荷耦合装置(CCD)，分散光传感器用于检测
来自于砂轮表面的反射光。基于光学的，在切削速度下对表面特征
的测量的尝试在文献中做了报道。用一个快速的硅光电二极管作为
接收器，用氙气灯或卤素光源的光电传感器来测量在所谓的磨平区
域的反射光的脉冲。试验显示在磨削过程中脉冲导致数量的变化，
因此磨损状态的监测是可能的。
