表面轮廓仪测量的位移量小但准确度高-轮廓仪厂商
表面轮廓仪测量的位移量很小，准确度很高，通常工作台
是防震的，即使是便携式轮廓仪，也一定要在无震条件下测量．
试样制备
试样制备质量对测量准确度影响很大，并影响仪器速度的
设定。
在覆层厚度测量中，制备台阶要求基体和台阶顶部不受损伤
和腐蚀，而台阶底部应无任何覆层痕迹。通常可采用化学溶解和
阳极溶解法来溶解要去掉部分的覆层，选用的溶解液应对基体不
发生腐蚀。
采用溶解法制备台阶，建议在1平方里面的正方形内除掉四个小
徊面积内覆层。溶解覆层时，可在要溶解面积外的全部覆层加以
屏蔽，只溶解要溶解的覆层而形成小圆坑．
台阶也可通过在镀覆前遮蔽一部分，遮蔽部分的直径通常是
约l一2mm，这样在镀覆过程中就会由于遮蔽部分镀覆不上而形
成台阶．
按照上述方法制备的试样，通过轮廓仪记录出两小圆坑间的
轮廓曲线，取两圆坑台阶的中点，也就是曲线高度的中点，根据
中点可以绘出曲线的中点曲线．然后对另两个小圆坑之间的轮廓
r抽线也绘中点曲线．较后可将两轮廓曲线之一的上边缘和另一嗌
钱下边缘叠置，取两中线之间的高度作为覆层的厚度．
表面粗糙度(轮廓)仪是非常精密的测量仪器，对其校正和测量都应小．
心细致地进行．通常表面轮廓仪的校正可利用光干涉仪，也可以
直接利用已知厚度的标准块来进行：表面轮廓仪测量的覆层厚度
极薄，任何影响因素都可能带来较大的测量误差。因而，在测量
过程中，对于温度的变化、测量台有无震动、试件基体的平滑租
平直度、试件表面清洁度、台阶制备的完善性、仪器放大倍数的
稳定性和设置、触针的压力、触针针尖大小和粗糙度之间的选，
配、触针有无磨损等都应充分加以注意，以便能得到准确的测量
结果．
