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氧化铝是常用的集成电路基片材料-电路检测显微镜




来源:yiyi
时间:2016-7-26 17:09:40

氧化铝是常用的集成电路基片材料-电路检测显微镜

  氧化铝是常用的集成电路基片材料。具有良好的电绝缘性、化学耐
久性、耐热性及耐热震性,表面均匀平整,成本低。但是,氧化铝瓷的
导热性差,与半导体硅芯片的热匹配较差。

  氧化铝白宝石单晶导热率高,与硅的热膨胀系数相近,对硅单晶的
污染少,可用作基片外延出硅单晶薄膜,用于大规模集成电路。

  氮化铝的共价键强,平均原子量小,导热率高,电绝缘性好,热膨
胀系数小,热震性能好,用作集成电路基片。

  具有金刚石结构的金刚石、立方氮化硼,因其晶体结构简单,原子
量小,键力强,非谐振性小,都具有高热导率。金刚石、立方氮化硼都
是电绝缘体。但因成本高,难用于绝缘。近年,金刚石、立方氮化硼薄
膜的研究成功,开辟了用作大规模集成电路基片的前景。功能玻璃材料

  从17世纪伽利略用玻璃制作第一台望远镜,直到20世纪初,光学玻
璃和玻璃光学仪器才得以迅速发展。20世纪又逐渐发现了玻璃的声光、
磁光和激光效应,发现了特殊的半导体玻璃、离子导体玻璃和金属玻璃
等新型技术玻璃品种。70年代玻璃光纤被应用于光通信,玻璃材料成为
重要的光电子技术功能材料,在当代高技术中得到广泛的应用。

  均匀而又透明的玻璃,早就被人们用作光学材料。目前,光学玻璃
已广泛地被用于制作成各种光学元件,这些光学元件是现代高技术中得
到广泛应用

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