聚合物含碳元素的化合物加工检测显微镜
聚合物是含碳元素的有机化合物，它的分子键很长，并构成了分子
网络。聚合材料中的典型产品有环氧树脂、聚酯、尼龙和硅酮等。
聚合物得益于它的原子结构，其强度和延展性极佳，但大多数聚合
物的电导率很低，有些是很好的绝缘体。一般而言，聚合物的密度
较低，而且软化和分解温度也比较低。
由于聚合物要么是长形蛇状结构，否则就是三维随机网状结构
，所以一般它们都是非晶体。但是还是能够发现一些单晶态的聚合
物。只有在线型聚合物中才能存在单晶性质的聚合物，而且也只能
是局部的。开发单晶态的聚合物有很大的意义，因为单晶态的力学
、热学和光学性能有很大的应用价值。聚合物中的单晶体是因化学
反应而生成长链分子，类似于几千个碳原子结合成的链条时形成的
，在液态的冷却过程中，这些分子向前和向后扩展，形成独有的晶
体。
用于MEMS的较后一大类材料是复合材料，它是指应用上述四大
类材料中的两种或
两种以上组合而成的材料，为了获得所希望的材料特性，许多复合
材料中包含了合适的填充料或强化材料，也包含了可配伍的树脂黏
结剂。一般来说，组成复合体的成分，它们之间是互不相溶的，而
且这些组成材料问的界面是物理上可鉴别的。
陶瓷、聚合物和复合材料的重要性之一是，它们在微传感器和
MEMS器材中既可用作惰性材料，也可用作活性材料。在惰性材料方
面，如制成与上层结构没有互作用的惰性衬底，又如在微机械结构
中制成惰性构件，如活动闸门等。作为活性功能材料时，往往又称
为智能材料，如具有电活性的聚合吡咯(Polypyrrole)，它可以制
成化学敏传感器，是电子鼻中的重要部件。
