着光学加工和精密机械制造工业激光测长仪器
激光加工
激光加工,主要是利用激光能量在时间和空间上的高度集中,来进
行打孔、切割、焊接等。与机械方法相比,激光加工速度陕,质量好,
而且,加工时无须接触工件,因此可保持工件清洁。某些机械加工不能
承担的工作,激光可以胜任。
激光切割
激光切割,其实与激光钻孔是一样的,只要将聚得很小的激光束,
沿着一定的方向移动起来,就成了激光刀。它也是利用激光的热效应,
当然还要用连续激光,而且功率要很高,如千瓦量级的二氧化碳激光器
。
比起普通切割机来说,激光切割有速度快、质量好、切割线窄等优
点。6毫米厚的铁板,用一台二氧化碳激光器切割,每分钟可切割280厘
米。由于激光光点尺寸极小,所以可以切割各种微小的、形状复杂的工
件。随着电子工业的飞速发展,在一块不大的半导体基片上要做成许多
个集成电路,准确无误地将它们分割开来,必须有良好的划片工具。激
光划片就是理想的工艺。
激光测长
随着光学加工和精密机械制造工业的发展,要求测量的精度越来越
高,一般机械方法已无法满足要求。然而,一个物体的长度若用光波的
波长作为尺度,那么测量精度至少可达十分之一个波长,即在0.1微米
以内。通常利用光的干涉特性来实现以光波波长为尺度的长度计量。但
是,因为用光尺可以量度的较长长度和光的单色性有关,普通光源发出
的光辐射单色性比较差,因而有效量度长度L不大。比如用氦灯发出的
黄光(波长587.6纳米,△入=0.0045纳米)做尺子,L值是7.7厘米;
用单色性之冠的氪灯的红光(波长605.7’纳米,△入=0.000095纳米)
做尺子,L值也只有390厘米。激光的单色性极好,用它做尺子,L值就
很大。比如以采用特种技术的氟氖激光器输出的红光做尺子,L值可高
达200千米。
激光测长仪的原理还可用来制造激光定位仪,它的定位精度比机械
定位要高很多。