零件表面粗糙度和尺寸形状的检测-表面粗糙度测量仪器
制造精度检测
工件的制造精度是机床控制系统的主要目标之一，特别是在机
床精加工过程中，通常采用几何适应控制来提高其加工工件的精度
，因而，零件表面粗糙度和尺寸形状的检测就显得尤为重要和迫切
。
表面粗糙度检测
表面粗糙度是衡量机床加工质量的重要指标之一。表面粗糙度
的测量方法主要分为接触式测量和非接触式测量两种。接触式测量
又分为触针式和电容式两种，非接触式i贝4量又分为光学式和微波
式。
在接触式测量中，电容式接触测量法是使电极与被测量面接触
，并根据其与电极面的电容来计算表面粗糙度。而触针式接触测量
法是使触针在被测表面上仿形被直接接触的表面，它是一种有效的
加工精度评价方法。给出了一外圆磨削加工面的多点式触针在线接
触测量结构图，触针设置在与被测面接触的转鼓内，随着工件的旋
转，转鼓每旋转一周触针与测量面接触一次。测量时工件每旋转一
周，由计算机读取触针的较大位移，并根据统计处理对表面粗糙度
进行评价。此方法的精度随测量点数的增多而提高，并且受冷却液
和振动的影响较小。当触针的磨损较小时，可有效地用于在线测量
。由于超精密加工中触针在加工表面会产生接触痕迹，而且存在测
量时间问题，所以近来提出许多非接触表面粗糙度测量方法。其中
光学式测量方法为较基本的非接触测量方法，可用于表面粗糙度的
在线测量和高速处理。在光学式测量中主要是利用光学变位(激光
位移计、光切断、光杠杆等)和光学现象(反射强度比、散射、光谱
、干涉等)两种方法进行表面粗糙度的测量。
由摄像头摄取被测对象的截面曲线图像，并利用计算机进行识
别。光杠杆法是使测量面的微小倾斜经过光杠杆进行放大，并通过
检测反射角度和反射光强的变化来计算表面粗糙度。
