电子显微镜低倍观察中图像的中间部分清晰边缘模糊
轴上色差(中心色差)
轴上色差是由于加速电压或透镜激励电流改变,引起磁透镜焦距变 化而产生的。当物点在轴上时,由于电子速度不同
放大色差 磁透镜中,当物点不在轴上时,由于焦距的变化,而引起放大倍数 的不同,这种像差叫放大色差。一般表现为图像中心部位清晰,边缘处 模糊,这种现象在低倍率及观察厚样品时尤其明显。放大色差是由于电 子束在穿过标本时,损失的能量不同,导致穿透样品后的电子速度不同 而产生的。因而在观察电镜标本时,应尽可能采用薄样品,一般不超过 80~100 nm。若观察厚样品则应采用高电压。
旋转色差 磁透镜中,由于磁场的影响,象转角随高压和透镜电流的波动而波 动,引起旋转色差。象的旋转方向与磁场方向有关,故电镜中物镜及投 影镜的磁场方向应该相反,便可适当地补偿旋转色差,若在观察中发现 旋转色差严重,应检查物镜电流方向是否正常。四、象散
电磁透镜的象散(astigmatism)是由于透镜中极靴的机械不对称或 极靴材料导磁率不均匀而引起透镜磁场不对称所致,结果造成物点的像 产生两条焦线,形成模糊像。按理论计算,极靴内孔精 度AR应为0.028μm,平面精度也要求达到相似值,目前还没有适当的 方法可以达到这样高的精度。为此,人们研制一套消象散装置进 行校正,消象散装置分机械和电磁式两种。存电镜观察前必须对象散进 行校正,以满足分辨本领的要求。 |