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电子显微镜低倍观察图像中间部分清晰边缘模糊




来源:yiyi
时间:2018-1-14 19:27:29

电子显微镜低倍观察中图像的中间部分清晰边缘模糊

  轴上色差(中心色差)

  轴上色差是由于加速电压或透镜激励电流改变,引起磁透镜焦距变
化而产生的。当物点在轴上时,由于电子速度不同

  放大色差
  磁透镜中,当物点不在轴上时,由于焦距的变化,而引起放大倍数
的不同,这种像差叫放大色差。一般表现为图像中心部位清晰,边缘处
模糊,这种现象在低倍率及观察厚样品时尤其明显。放大色差是由于电
子束在穿过标本时,损失的能量不同,导致穿透样品后的电子速度不同
而产生的。因而在观察电镜标本时,应尽可能采用薄样品,一般不超过
80~100 nm。若观察厚样品则应采用高电压。

  旋转色差
  磁透镜中,由于磁场的影响,象转角随高压和透镜电流的波动而波
动,引起旋转色差。象的旋转方向与磁场方向有关,故电镜中物镜及投
影镜的磁场方向应该相反,便可适当地补偿旋转色差,若在观察中发现
旋转色差严重,应检查物镜电流方向是否正常。四、象散

  电磁透镜的象散(astigmatism)是由于透镜中极靴的机械不对称或
极靴材料导磁率不均匀而引起透镜磁场不对称所致,结果造成物点的像
产生两条焦线,形成模糊像。按理论计算,极靴内孔精
度AR应为0.028μm,平面精度也要求达到相似值,目前还没有适当的
方法可以达到这样高的精度。为此,人们研制一套消象散装置进
行校正,消象散装置分机械和电磁式两种。存电镜观察前必须对象散进
行校正,以满足分辨本领的要求。

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