微型泵,微加工技术磨损表面粗糙度计量仪
微米世界是一个很奇妙的世界。在这个世界里，头发丝会显得
很粗，分子会触手可及。传统意义上的微米尺度已属微观世界。而
从现代意义上讲，微米尺度仍属宏观的范畴，它所涉及的仍是物体
，尚未触及物质的结构。在微米世界里，确实存在实实在在的机械
，如微型齿轮；存在实实在在的结构，如微型梁、微梳齿、微管道
；存在实实在在的系统，如微加速度计、微陀螺、微惯性测量组合
、微马达、微型泵等。微加工技术出现以前，这样的情景难以想象
。但随着微电子加工技术的发展，所有这些都一个个变成了现实。
微米技术的发展使人们很快想到了纳米，也切实推动了纳米技术的
发展和进步。纳米领域与分子领域仅一步之遥。扫描隧道显微镜的
出现，使人们可以用机械的手段搬动原子。从此，物理和化学的界
限将不再像原来那么清晰，机械运动与化学反应的行为也将不再那
么截然不同。在不久的将来，物理的机械动作也许会代替原来的化
学反应。通过机械作用也许会创造出新的材料。
在微米世界中，无论是机械的运动还是结构的变形或是系统的
响应，主要都是通过力来作用的。在各种力学环境中，有些是主动
利用的力(如驱动力)，有些是被动涉及的力(如阻力)；有些是和宏
观环境完全相同的，有些是微观环境特有的。这些力之间关系错综
复杂，重要程度也不尽相同，如果弄不清其中的主导力，许多实际
中重要的现象是无法科学解释的，如微机电系统中的动能、动力学
、静摩擦、摩擦、黏性、磨损等，巨大的微机电系统技术应用潜力
是很难开发出来的，更谈不上其优化的利用。而分析好、认识好并
利用好各种力，就会对微米系统的工作效果产生巨大影响。因此，
系统地介绍微机电系统的力学是十分必要的。
