微电子集成技术电路板分析图像显微镜厂家
随着化学微系统的发展，采用集成技术，将以氧化物陶瓷为主的功能材
料集成到Si基板上，用以提高传感器或驱动器的传感功能，这一方法已引
起了大家的广泛关注。最近，微系统不仅应用在脉冲加热、瞬态分析、具
有自清洁工艺的炉型微气体传感器上，而且在微电子学的低功耗、集成方
式及可靠性等方面也有拓展研究。然而，从标准互补金属氧化物半导体(CM
OS)技术一溅射和气相化学沉积(CVD)中，并不能经常获得此功能材料。在
这种情况下，传感器材料往往是单独获得的，需要采用如微系统中“活性
层”这样的新技术来实现传感器材料的制备。
对于微型气体传感器来说，一少部分科学技术团体认为可以用一些典
型的化学途径来实现，如传统的化学沉积或者溶胶一凝胶方法，具有灵敏
度高、可控性好的优点并且用可用量产的粉末材料来代替通过真空系统获
得的薄膜材料。在这些化学反应方法中．往往通过制作粉末状功能材料来
获得所需的相关功能，但这样会增加处理时间，同时成本也依赖于沉积的
设备以及方式。此外，传感器或驱动器也可通过一种叫作微缩印刷的技术
来制作，即在微型装置上涂布预先处理的陶瓷材料来进行制造，这种方法
也在别的文献中有所叙述。与此同时，应先将功能材料与有机载体相结合
，再通过传统的丝网印刷或者更加复杂的滴沉积技术(如墨水喷射系统)来
制作功能薄膜。最近的研究报告表明采用沉积技术成功制造出了纳米尺度
的陶瓷触媒转化器粒子，它可应用在气体传感器方面。该方法是一种简单
、快速的制备方法，且不需要进一步的高温热处理。
简而言之，就是将微型陶瓷模块组合到一块双面抛光的si基板上。
