理想材料折射率与表面误差质量检测显微镜
·理想材料折射率门与表面误差占z,和如。的乘积; ·材料折射率的公差值与理想表面函数z,和z:的乘积。 很明显,加工公差值和材料公差值对波前相位公差的影响相同。 制造与测量误差 在加工过程中,会引入加工误差,包括光学元件表面与面形函数设计值间的面形误差,所选择材料的折射率与材料库中材料折射率的偏差a7行。将这些误差添加到测量误差中,就形成了期望加工误差的预测值。
设计人员利用加工误差可以计算出波前的相位偏差,,然后与设计的相位容限值泐h,比较,如果加工误差值比设计值大,通常情况下这个透镜就是废品。但是,如果这个透镜比较贵重,也可以采用以下几种方式进行处理: ·由于系统中其他透镜具有更好的性能,补偿此透镜的不足; ·此透镜可以通过重修实现预期性能;
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