电子显微镜可达到约1nm横向分辨率和聚焦深度

电子显微镜可以达到约1nm的横向分辨率和极高的聚
焦深度，但是其高度的信息只能是定性的；如果在不同的倾
斜条件下拍摄图像，可以实现部分的定量分析。此外，电子
显微镜要求被测样品必须具有导电表面。
空间频率带宽是表面粗糙度或斜率误差参数的一个必
要部分，仪器传递函数是测量的一个必要的参考。没有
任何一个仪器可以涵盖测量的整个频带范围。
    可配软件光学测试系统(SC()TS改变了哈特曼测试
将屏幕条纹图像成像在计算机显示器的状况。屏幕上的一
个像素可以通过摄像机来获取，由于摄像机安装的位置与被
测表面的法线具有相同的角度，所以被测表面的局部斜率可
以通过平面镜成像在摄像机上．因而表面的面形可以通过积
分运算获得。由于整个屏幕可以由迅速变化的条纹进行照
明，而且摄像机可以直接与笔记本电脑或平板电脑连接．这
种测量方法的硬件造价不再昂贵，而且测量迅速。

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