陶瓷制作电子元件烧渗工艺样品分析显微镜
电极制备
用陶瓷制作电子元件,必须有电极,常常把银电极浆料,涂布
于试片的上下表面,再经高温(500~600℃)烧渗工艺,在瓷片上形
成银白色导电银层,以供通电之用。施加电极的方法有多种:烧银
电极、化学镀镍电极、喷铝电极、喷铜电极、溅射银电极、蒸发金
属电极等。
电极质量优劣,直接影响使用效果。例如打火机用的压电点火
元件或喷雾设备中用的压电超声元件,如果电极不过关,多次打火
冲击下,电极损坏,就不能点火。喷雾设备例如假山中人造喷泉,
本来可喷几十公分高水柱,但多次喷射后越喷水柱愈低,最后喷不
出来了,这是由于多次超声喷水,银电极在剧烈振动中脱离陶瓷之
故,所以超声用压电元件电极和瓷体,必须特别牢固粘合,这和银
浆中玻璃相组成关系很大。有时电极各处的厚薄分布不均,通电时
薄层处电流密度过高,使局部电极烧毁。这种局部温升,可引起瓷
体内微裂,再加上电场分布不均,会增加击穿的几率。在丝网印刷
或火焰喷铝电极的边缘,如果出现参差不齐,有毛刺,将易于造成
打耐压时的边缘跳火及短路。电极层的厚度,对材料性能也有影响
,例如PTC元件的阻值经时老化,就与它有关。不同应用场所,使
用不同的电极。对于半导体瓷,不能使用一般的烧渗银电极,因为
金属层和半导体之间,会产生中间接触电阻,数值可达千欧姆。这
是由于n型半导体表面吸附氧分子后,氧分子与半导瓷表面层中电
子,产生化学吸附,使这些充当载流子的电子被氧俘获,使载流子
浓度减少,产生正空间电荷区,构成高阻层。