光学显微镜是掩膜测量中最广泛使用的工具
光显微技术
光学显微镜是掩膜测量中最广泛使用的工具。在掩膜制备过程中，有
好几个步骤需要测量和检验。光学显微镜适合于生产性操作，因为它们的
体积较小，而且技术人员能很快掌握操作技术，包括能很快掌握拍摄后立
即冲洗的35mm宽的胶卷的使用技术。光学显微镜盼精度在P定范围内能符合
需要
平台测微器是安装在显微镜xy平台上的简单的玻璃显微镜滑块，它包
括一个刻度或一套图形，其增量以毫米为单位，而每一个标准滑块用于每
一个单独的放大倍数。一般的显微镜加上三个这样的滑块就形成了一个有
用的系统，它的检验和测量的范围很宽。如想对每一个放大倍数都有一个
独立的测微器，那么最简单的办法是，当改变放大倍数时，只需使用一个
微米标尺然后再校准显微镜就可以了，
十字叉丝目镜是用于小尺寸测量的另一种显微镜附件，它的测量精度
远高于平台测微器。十字叉丝测微器所以能获得高的测量精度，是因为它
将被测区域分成较小的单元或者大量的被测小区。实现这个功能的机械是
一个旋转鼓，它使360。的旋转周角分成有足够灵敏度的1 00个等分，当用
手缓慢旋转鼓时，通过目镜可以看封十字叉丝穿过视场慢慢移动。进行每
次测量前，都必须校准旋转鼓；十字叉丝测微器的优点是测量的速度比较
快。一般的较简单的目镜测微器的灵敏度较低，因为校准标尺是在目镜上
刻蚀或复印形成的，而且必须移动戈y平台才能进行测量读出。
一数字化显微镜是一个包括读出计数器在内的光学显微测量系统，它不
仅减轻了每次测量时需明确辨别像边缘的费力工作，而且还可以与电子打
印机配合实现对测量结果的打印。数字读出和记录打印大大减轻了操作人
员的眼疲劳和大大减小了误测量的机会。假如使用闭路电视，测量读出就
变得更为简单，因为在监视器屏幕上，像被增大若干倍，而旦能使几个人
同时看到图像
