圆片生产线图形测量的应用分析图像显微镜

    图形测量的应用
    众所周知，在掩膜制备中，当需要进行大量的测试时，测试设备本身
的可靠性和精度就显得十分重要。我们已经讨论了图形测量的基本应用，
也即对掩膜图形尺寸的测量。掩膜制备车间在完成自己的所有工艺步骤之
后，必须检查掩膜版上图形的临界尺寸，然后才能交付绐圆片生产线。

在圆片生产线中，必须对掩膜版图形的临界尺寸进行第二次检查，才能将掩
膜版用到光刻机上进行对准曝光。圆片显影后，还需对光刻胶图形进行测
量。假如光刻胶图像尺寸的误差超出规定范围，那么有问题的掩膜版还需
再次检查，而圆片则要再次成像并再次测量临界尺寸。集成电路制成后，
经过终端的电气测试方能确定图形尺寸是否正确。

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