单轴元件的制作焊接金属熔深质量检测显微镜
单轴压合
单轴压合涉及沿着单轴的压力施加，通常是通过惰性气体。压合的部
分被约束在一个由热压板施压的压合器上。组件的加热是由一系列安装在
上方和下方压板上的电子元件棒提供的。压合装备中配置了一套冷却系统
。碾压板和模具是由高温奥氏体不锈钢和具有良好耐高温强度、蠕变以及
抗氧化性能的高镍钢制成的。下方的碾压板通常是固定的，而上方的碾压
板则通过液压油缸移动以进行模具的加载。液压油缸同时给模具提供了密
封，以防止气体的泄漏。有很多种压合设计，有些碾压板的尺寸达到2m×3
m，并且还有将压板安装在导轨上且能够移动到任意加工台的龙门压力机。
一个元件的制作从薄板材料的切割和定位孔的钻取开始。定位孑L的精
确度非常重要，因为定位孔要用来确保“中途分道”操作的准确对齐，并
用来确定扩散压合在压合模具上的位置。在被切下的薄板材料于侵蚀槽中
进行化学清洗，水洗及烘干之后，材料就可以进行丝网印刷了。在这个过
程中，通常是用带有高分子黏合剂的氧化钇作为“中途分道”化合物，将
这些化合物应用在薄板的特定区域以防止黏合。这就能保证这些区域在扩
散压合／超塑性成型过程中超塑性成型的分离。
在丝网印刷之后薄板就会被固定在压合模具上。每套模具组合包括2、
3或者4个薄板，具体数目取决于最终扩散压合／超塑性成型成品的构型。
扩散压合部分会在加载之前被镀上一层氮化硼之类的隔离剂，因为在每个
模具中可能有高达4个扩散黏合部分，这会减缓它们之间的分离及其从模具
上的脱离。
